纳米深度3D形状显微检测仪
产品描述：纳米3D显微形貌快速呈现，纳米深度3D形状显微检测仪不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D纳米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析
| AE-100M-NS10 | |||
| 移动台（mm） | 平台尺寸150*150，行程80*60 | ||
| 镜筒放大倍率 | 1 | ||
| 物镜放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
| 观察与量测范围（mm） | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
| 光学解析度（μm） | 1.15 | 0.86 | 0.62 |
| 收光角度（Degrees） | 17 | 23 | 33 |
| 工作距离（mm） | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
| 感测器解析度 | 640*480像素 | ||
| Z轴移动范围 | 45mm ,手动细调 | ||
| Z轴位置数位显示器 | 解析度0.5μm | ||
| 机台重量 | 50kg | ||
| 载重 | 1kg | ||
| 倾斜调整平台 | 双轴/手动调整 | ||
| 高度测量 | |||
| 测量范围 | 100μm(400μm,选配) | ||
| 量测解析度 | 0.1nm | ||
| 重复精度（σ）⑴ | ≤0.1%（量测高度：>10μm） | ||
| ≤10nm（量测高度：1μm～10μm） | |||
| ≤5nm（量测高度：<1μm） | |||
| 量测控制 | 自动 | ||
| 光源 | |||
| 光源类型 | 白光LED灯箱 | ||
| 平均使用寿命 | 30000小时 | ||
| 资料处理与显示用电脑 | |||
| 中央处理运算单元 | 双核心以上CPU | ||
| 影像与资料显示屏幕 | 17〞液晶荧幕 | ||
| 作业系统 | Windows7 | ||
| 电源与环境要求 | |||
| 电源 | AC110V/220V,50Hz/60Hz | ||
| 环境振动 | VC-C等级以上 | ||
| 量测与分析软体 | |||
| 量测软体/分析软体 | ProfileViewer软体： | ||
| 具VSI/PSI量测模式、ISO粗糙度/阶高分析、 | |||
| 多样的2D和3D观测视角图、图像缩放、标准影像档案格式转换、报表输出等。 | |||
| 1、使用20X物镜量测阶高标准重复30次的结果 | |||
